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Tergeo-EM
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PIE等離子清洗儀 Tergeo

產品詳情


Tergeo-EM是一臺集等離子清洗,蝕刻及表面處理系統于一體的實驗儀器。


技術規格


1.集等離子高速清洗和等離子無損清洗于一體的清洗模式。

2.配置等離子傳感器可實時測量等離子強度。

3.可達毫秒級短脈沖的脈沖工作模式。

4.實驗室等離子蝕刻,處理及清潔系統一體化。

5.擁有超大樣品室可成批處理樣品。石英管型號:外徑 110mm, 長:280mm,配有一個矩形石英樣品盤(100mmx250mm)可以托住成批樣品。

6.雙 TEM 樣品桿插口,可(根據客戶需求)裝配成兩種不同型號 TEM 樣品桿插口。


產品外觀



應用實例


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