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EM-KLEEN
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PIE等離子清洗儀 EM-KLEEN

 產品詳情


用于SEM,FIB,XPS和ALD等真空分析和鍍膜儀器的碳氫污染物清洗,支持ZEISS,HITACHI,JEOL,FEI,TESCAN,SPECS系統。


技術規格


工作氣壓:樣品室:0.1-2.5毫托,兼容分子泵

射頻電源:13.56MHz 75Wattt




產品外觀






應用實例


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